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合作案例

清華大學(xué)采購(gòu)PLUTO-T等離子清洗機(jī) 清華大學(xué)調(diào)研了眾多等離子表面處理設(shè)備，最終選擇了上海沛沅生產(chǎn)的Pluto-T等離子清洗機(jī)/表面處理機(jī)。根據(jù)客戶的技術(shù)要求，提供了可以滿足老師所有技術(shù)參數(shù)要求的Pluto-T等離子清洗機(jī)/表面處理機(jī)，以下為該設(shè)備的安裝調(diào)試圖。
上海交大采購(gòu)PLUTO-MC沉積鍍膜設(shè)備 2020年12月，上海交通大學(xué)采購(gòu)我司PLUTO-MC沉積鍍膜設(shè)備。該設(shè)備采用13.56MHz射頻，涂覆面積為150*150mm，具備良好的穩(wěn)定性與可重復(fù)性。
電子科技大學(xué)采用Pluto-MD等離子去膠機(jī)進(jìn)行晶圓去膠電子科技大學(xué)已采購(gòu)多臺(tái)等離子設(shè)備，包括PLUTO-T等離子清洗機(jī)，PLUTO-MD等離子去膠機(jī)等，用戶反饋良好。主要涉及的應(yīng)用有：晶圓光刻膠的去除、電子半導(dǎo)體樣品表面有機(jī)物的去除、多功能微納結(jié)構(gòu)寬帶吸收器的表面處理等等。

新聞中心

企業(yè)新聞| CORPORATE NEWS

: 小型等離子清洗機(jī)的核心價(jià)值與使用要點(diǎn)分析

在精密制造、生物醫(yī)療、電子封裝等領(lǐng)域，表面處理質(zhì)量直接影響產(chǎn)品性能。傳統(tǒng)清洗方式常因化學(xué)殘留、表面損傷等問(wèn)題難以滿足高精度需求，而小型等離子清洗機(jī)憑借其獨(dú)特的物...
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技術(shù)文章| Technical articles

: 不打磨、不用藥，等離子處理機(jī)憑什么打破傳統(tǒng)表面處理？

在工業(yè)制造的微觀世界里，有這樣一種“隱形利器”——它不依賴蠻力打磨，不使用化學(xué)藥劑，僅憑一束無(wú)形的等離子體，就能讓普通材料的表面實(shí)現(xiàn)“質(zhì)的飛躍”。它就是等離子處理機(jī)，一種藏在眾多產(chǎn)品背后，默默優(yōu)化性能、解決生產(chǎn)痛點(diǎn)的特殊設(shè)備，從日常接觸的塑料件、電子元件，到制造中的精密組件，都有它的身影。很多人對(duì)“等離子”的認(rèn)知停留在科幻場(chǎng)景中，實(shí)則它是物質(zhì)除固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之外的第四種形態(tài)，由高能電子、離子、自由基等活性粒子組成，兼具粒子性與波動(dòng)性。而等離子處理機(jī)，就是通過(guò)特定技術(shù)將普通氣...
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應(yīng)用案例

01 等離子清洗
等離子清洗特點(diǎn)是不分處理對(duì)象的基材類型，均可進(jìn)行處理，對(duì)金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料等都能很好地進(jìn)行超清洗。

圖為PLUTO-T等離子清洗機(jī)對(duì)陶瓷基板上銀氧化層的清洗實(shí)例。
02 等離子去膠
等離子清洗機(jī)可用于晶圓或者電路板表面的光刻膠去除，以及去除光學(xué)元件、半導(dǎo)體元件表面的光阻材料等。

圖為PLUTO-MD等離子去膠機(jī)對(duì)PCB板和硅片的去膠實(shí)例。
03 等離子活化改性
改善粘合力-用于光學(xué)元件、生物醫(yī)學(xué)、封裝領(lǐng)域等；
表面改性-用于高分子材料表面修飾、PDMS微流控芯片鍵合、玻璃等，增強(qiáng)表面粘附性、浸潤(rùn)性、相容性；

圖為PLUTO-M對(duì)線路板、橡膠管和手機(jī)膜的表面改性實(shí)例。
04 等離子刻蝕
等離子刻蝕是干法刻蝕中常見的一種形式，其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體，電離氣體原子通過(guò)電場(chǎng)加速時(shí)，會(huì)釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。

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